Behandlung von Halbleiterbauelementen mit dichten Flüssigkeiten und Ultraschallenergie

EP1548810 Art A2 29. Juni 2005

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1548810
Aktenzeichen: EP04029210
Anmeldetag: 9. Dezember 2004
Veröffentlichung: 29. Juni 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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