Trockenluftzufuhrvorrichtung und -Behandlungsvorrichtung

EP1552876 Art A1 13. Juli 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, NICHIAS CORPORATION, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1552876
Aktenzeichen
EP03797701
Anmeldetag
19. September 2003
Veröffentlichung
13. Juli 2005
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/26B01D53/06F24F3/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOKYO ELECTRON LIMITED
NICHIAS CORPORATION
Tokyo Electron Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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🇯🇵 Nichias

Nichias ist ein japanischer Hersteller von Dämm-, Dichtungs- und Industriematerialien mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie anorganische Chemie und Werkstoffe, ergänzt durch Energie- und Antriebstechnik. Anmeldungen laufen durchgehend seit 2000.

369 Patente in unserer Datenbank

Kanzlei
Boehmert & Boehmert München, Deutschland

Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.

39.410
Patente gesamt
25
Patentanwälte
2
Standorte

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