Photoresistbasismaterial, Verfahren zu Seiner Purifikation und Fotoresistzusammensetzungen

EP1553451 Art A1 13. Juli 2005

Anmelder: IDEMITSU KOSAN CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1553451
Aktenzeichen
EP03808872
Anmeldetag
1. September 2003
Veröffentlichung
13. Juli 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/039C07C39/17C07C69/736C07D309/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IDEMITSU KOSAN CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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