Hochfeste Hochtemperaturwerkstoffe für Vorrichtungsverarbeitungssysteme
EP1556209
Art A2
27. Juli 2005
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1556209
- Aktenzeichen
- EP03770728
- Anmeldetag
- 9. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 27. Juli 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68B32B1/02B65D85/86B65D85/90
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Störle, Christian, Dr
München, Deutschland
49
Patente gesamt
15
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Patentanwälte Geyer, Fehners & Partner mbB
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Geyer, Fehners & Partner
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