Hochfeste Hochtemperaturwerkstoffe für Vorrichtungsverarbeitungssysteme

EP1556209 Art A2 27. Juli 2005

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1556209
Aktenzeichen
EP03770728
Anmeldetag
9. Oktober 2003
Veröffentlichung
27. Juli 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/68B32B1/02B65D85/86B65D85/90
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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