Belichtungstransfermaske und Verfahren zum Auswechseln von Belichtungstransfermaskenmustern
EP1557869
Art B1
22. Juni 2011
Anmelder: OCTEC INC., TOKYO ELECTRON LIMITED, Octec Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1557869
- Aktenzeichen
- EP03764136
- Anmeldetag
- 7. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 22. Juni 2011
- Erteilung
- 22. Juni 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F1/16G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- OCTEC INC.
TOKYO ELECTRON LIMITED
Octec Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.253 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
39.124
Patente gesamt
25
Patentanwälte
2
Standorte