Zusammensetzung Zumpolieren von Metall, Polierverfahren für Metallschicht Sowieherstellungsverfahren für Wafer

EP1558688 Art A1 3. August 2005

Anmelder: Showa Denko K.K., Showa Dendo K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1558688
Aktenzeichen: EP03809873
Anmeldetag: 31. Oktober 2003
Veröffentlichung: 3. August 2005
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02H01L21/321H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Showa Denko K.K.
Showa Dendo K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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