Entfernung von Teilchenverunreinigungen auf Strukturiertem Slilicon-/siliziumdioxidunter Verwendung Superkritischer Kohlendioxid-/chemischer Formulierungen

EP1559132 Art A2 3. August 2005

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1559132
Aktenzeichen
EP03781458
Anmeldetag
29. Oktober 2003
Veröffentlichung
3. August 2005
Rechtsraum
EP
IPC
B08B7/00H01L21/00C11D7/50
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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