Reinigung von CVD-Kammern nach Beschichtung von Porogenenthaltenden Material
EP1561841
Art A2
10. August 2005
Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1561841
- Aktenzeichen
- EP05000894
- Anmeldetag
- 18. Januar 2005
- Veröffentlichung
- 10. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
906 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Teipel, Susanne, Dr
München, Deutschland
174
Patente gesamt
22
Fachgebiete
9
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Weitere Vertreter
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