Defektanalysierer
EP1563381
Art A2
17. August 2005
Anmelder: FEI COMPANY, FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1563381
- Aktenzeichen
- EP03783335
- Anmeldetag
- 12. November 2003
- Veröffentlichung
- 17. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06F11/00H01J37/28H01J37/302H01J37/304H01J37/305G01N23/225H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- FEI COMPANY
FEI Company - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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Schwerpunkte