Verfahren zur Herstellung und Prüfung eines Korrosionsbeständigen Kanals in einem Siliziumbauelement
EP1565932
Art B1
6. Februar 2008
Anmelder: SMC Kabushiki Kaisha, Redwood Microsystems, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1565932
- Aktenzeichen
- EP03786769
- Anmeldetag
- 17. November 2003
- Veröffentlichung
- 6. Februar 2008
- Erteilung
- 6. Februar 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01L21/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SMC Kabushiki Kaisha
Redwood Microsystems, Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
SMC
SMC ist ein japanischer Hersteller von Pneumatik- und Automatisierungskomponenten. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Maschinenelemente und Fluidtechnik, ergänzt um Fertigungstechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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Kanzlei
Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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