Teilchenquelle mit wählbarem Strahlstrom und wählbarer Energiestreuung

EP1566826 Art B1 14. Januar 2009

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1566826
Aktenzeichen
EP05075340
Anmeldetag
11. Februar 2005
Veröffentlichung
14. Januar 2009
Erteilung
14. Januar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/153H01J37/09H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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