Halbleiterkomponentenhandhabungseinrichtung mit einem Performance-Film

EP1567034 Art A2 31. August 2005

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1567034
Aktenzeichen
EP02784595
Anmeldetag
26. November 2002
Veröffentlichung
31. August 2005
Rechtsraum
EP
IPC
A47G19/08H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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