Halbleiterkomponentenhandhabungseinrichtung mit einem Performance-Film
EP1567034
Art A2
31. August 2005
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1567034
- Aktenzeichen
- EP02784595
- Anmeldetag
- 26. November 2002
- Veröffentlichung
- 31. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- A47G19/08H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
Geyer, Werner, Dr.-Ing
München, Deutschland
167
Patente gesamt
28
Fachgebiete
6
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Schwerpunkte
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