Zusammensetzung und Verfahren zur Niedertemperaturabscheidungvon Siliziumhaltigen Filmen Wie Filmen, die Silizium, Siliziumnitrid,siliziumdioxid Und/oder Siliziumoxynitrid Enthalten
EP1567531
Art A2
31. August 2005
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1567531
- Aktenzeichen
- EP03781915
- Anmeldetag
- 12. November 2003
- Veröffentlichung
- 31. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F7/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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