Wafer mit Trennschicht und Trägerschicht und dessen Herstellungsverfahren

EP1568071 Art B1 20. März 2019

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Nissan Chemical Corporation, Nissan Chemical Industries, Ltd., Thin Materials AG, Jakob, Andreas 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1568071
Aktenzeichen: EP03799467
Anmeldetag: 28. November 2003
Veröffentlichung: 20. März 2019
Erteilung: 20. März 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Nissan Chemical Corporation
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Thin Materials AG
Jakob, Andreas
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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