Verfahren zum Polieren Und/oder Reinigen von Kupferverbindungsleitungen Und/oder -Filmen und Zusammensetzungen Dazu

EP1572821 Art A1 14. September 2005

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1572821
Aktenzeichen
EP03777947
Anmeldetag
28. Oktober 2003
Veröffentlichung
14. September 2005
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02C23F3/00C11D1/00H01L21/321H01L21/288
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
3M Innovative Properties Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

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