Aufüberkritischem Kohlenstoffdioxid Beruhende Formulierung für die Entfernung von Gegebenenfalls Veraschten Aluminiumresten nach dem Ätzen
EP1572833
Art B1
20. August 2008
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1572833
- Aktenzeichen
- EP03779251
- Anmeldetag
- 27. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 20. August 2008
- Erteilung
- 20. August 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09K13/00C09K13/04C09K13/06C09K13/08H01L21/302C03C15/00C11D7/08C11D7/10C11D7/32C11D7/50C11D11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Vertreten von
ABG Patentes, S.L
Madrid, Spanien
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-
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