Aufüberkritischem Kohlenstoffdioxid Beruhende Formulierung für die Entfernung von Gegebenenfalls Veraschten Aluminiumresten nach dem Ätzen

EP1572833 Art B1 20. August 2008

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1572833
Aktenzeichen
EP03779251
Anmeldetag
27. Oktober 2003
Veröffentlichung
20. August 2008
Erteilung
20. August 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C09K13/00C09K13/04C09K13/06C09K13/08H01L21/302C03C15/00C11D7/08C11D7/10C11D7/32C11D7/50C11D11/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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