Vakuumbehandlungsvorrichtung mit Gasverteilungskopf
EP1577420
Art A1
21. September 2005
Anmelder: Canon Anelva Corporation, ANELVA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1577420
- Aktenzeichen
- EP05290582
- Anmeldetag
- 16. März 2005
- Veröffentlichung
- 21. September 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Canon Anelva Corporation
ANELVA CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon Anelva
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
421 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Breesé, Pierre
Levallois-Perret, Frankreich
722
Patente gesamt
32
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Novagraaf Technologies
Novagraaf Technologies · Asnières-sur-Seine