Alkalische Reinigungsmittel zur Reinigung nach einer chemisch-mechanischen Planarisierung

EP1577934 Art B1 8. August 2007

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1577934
Aktenzeichen: EP05005599
Anmeldetag: 15. März 2005
Veröffentlichung: 8. August 2007
Erteilung: 8. August 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306C11D11/00C11D7/26C11D7/32C11D3/33C11D3/20C11D3/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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