Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung mit Damaszenstrukturen mit Luftzwischenräumen
Anmelder: IMEC, NXP B.V., Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum, Koninklijke Philips Electronics, N.V. 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1577939
- Aktenzeichen
- EP05003843
- Anmeldetag
- 23. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 3. November 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
NXP B.V.
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum
Koninklijke Philips Electronics, N.V. - Land
- 🇧🇪 Belgien
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.
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Fachgebiete
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