Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung mit Damaszenstrukturen mit Luftzwischenräumen

EP1577940 Art B1 5. April 2017

Anmelder: IMEC VZW, NXP B.V., IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum, Koninklijke Philips Electronics, N.V. 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1577940
Aktenzeichen
EP05003844
Anmeldetag
23. Februar 2005
Veröffentlichung
5. April 2017
Erteilung
5. April 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
NXP B.V.
IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum
Koninklijke Philips Electronics, N.V.
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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🇳🇱 NXP Semiconductors

Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.

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🇳🇱 Philips

Niederländisches Technologieunternehmen mit Sitz in Amsterdam, spezialisiert auf Medizintechnik, Diagnosegeräte, Patientenüberwachung sowie Gesundheits- und Wellnessprodukte.

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Weitere Vertreter
  • Winger
    Winger · Boortmeerbeek
  • DenK iP
    DenK iP · Boortmeerbeek

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