Polierzusammensetzung und Polierverfahren

EP1580243 Art B1 13. Mai 2009

Anmelder: FUJIMI INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1580243
Aktenzeichen
EP05006025
Anmeldetag
18. März 2005
Veröffentlichung
13. Mai 2009
Erteilung
13. Mai 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02H05K3/00H01L21/304H05K3/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIMI INCORPORATED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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