Lösungsmittel und Methoden zur Entfernung von Silizium enthaltenden Rückständen von einem Substrat unter Verwendung solcher Lösungsmitteln

EP1583141 Art A3 26. November 2008

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1583141
Aktenzeichen: EP05004357
Anmeldetag: 28. Februar 2005
Veröffentlichung: 26. November 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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