Verfahren zur Erzeugung einer kreisförmigen periodischen Struktur auf einem Basisträgermaterial
EP1593002
Art B1
16. Juli 2014
Anmelder: Eulitha AG, PAUL SCHERRER INSTITUT 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1593002
- Aktenzeichen
- EP03757841
- Anmeldetag
- 15. September 2003
- Veröffentlichung
- 16. Juli 2014
- Erteilung
- 16. Juli 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Eulitha AG
PAUL SCHERRER INSTITUT - Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
PAUL Scherrer Institut
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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