Verfahren zur CVD-Kammerreinigung unter Verwendung von verdünntem NF3

EP1595973 Art A1 16. November 2005

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1595973
Aktenzeichen: EP05010151
Anmeldetag: 10. Mai 2005
Veröffentlichung: 16. November 2005
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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