Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Musterbelichtung

EP1596424 Art B1 2. November 2016

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1596424
Aktenzeichen: EP04711441
Anmeldetag: 16. Februar 2004
Veröffentlichung: 2. November 2016
Erteilung: 2. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B1/00C03B20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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