Verfahren zum Entfernen einer Substanz von einem Substrat mittels Anbringung von Elektronen

EP1598881 Art A3 14. Juni 2006

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1598881
Aktenzeichen: EP05009316
Anmeldetag: 28. April 2005
Veröffentlichung: 14. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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