Verfahren und Vorrichtung zum Anlegen einer Spannung auf ein oder mehrere Substrate während der Abscheidung

EP1600529 Art A3 12. Januar 2011

Anmelder: Komag, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1600529
Aktenzeichen
EP05011220
Anmeldetag
24. Mai 2005
Veröffentlichung
12. Januar 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C25D17/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Komag, Inc.
Land
🇺🇸 USA
Kanzlei
Mitscherlich PartmbB München, Deutschland

Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.

21.622
Patente gesamt
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