Substratspeicherbehälter

EP1605496 Art B1 26. Dezember 2018

Anmelder: SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1605496
Aktenzeichen
EP05253594
Anmeldetag
10. Juni 2005
Veröffentlichung
26. Dezember 2018
Erteilung
26. Dezember 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/673
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Polymer

Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. ist ein japanischer Hersteller von Kunststoff- und Elektronikkomponenten mit Sitz in Tokio, Teil des Shin-Etsu-Chemical-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Verpackungstechnik, ergänzt um Kunststofftechnik und Fertigungstechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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