Uv-Nanoimprint-Lithografieverfahren unter Verwendung eines Elementweisen Prägestempels

EP1606834 Art B1 5. Juni 2013

Anmelder: Korea Institute Of Machinery & Materials, KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1606834
Aktenzeichen: EP03816465
Anmeldetag: 19. Juni 2003
Veröffentlichung: 5. Juni 2013
Erteilung: 5. Juni 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Korea Institute Of Machinery & Materials
KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

620 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von