Sichtsystem und Verfahren zur Kalibrierung eines Transportroboters für Halbleiterscheiben

EP1606837 Art B1 2. Mai 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1606837
Aktenzeichen
EP04718852
Anmeldetag
9. März 2004
Veröffentlichung
2. Mai 2018
Erteilung
2. Mai 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67B25J9/16H01L21/00H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount London, Großbritannien
2.091
Patente gesamt
33
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Elektronik & Schaltungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
Zum Anwaltsprofil
Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen