Verfahren zur Herstellung eines Belichtungsgerätes

EP1616666 Art A1 18. Januar 2006

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1616666
Aktenzeichen: EP05020474
Anmeldetag: 15. Januar 2002
Veröffentlichung: 18. Januar 2006
Rechtsraum: EP
IPC: B24D3/06B24D7/06B24D7/18B24D3/00B24B13/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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