Verfahren zum Entfernen kohlenstoffhaltiger Rückstände von einem Substrat

EP1619267 Art A3 14. Juni 2006

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1619267
Aktenzeichen: EP05015747
Anmeldetag: 20. Juli 2005
Veröffentlichung: 14. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44H01L21/00B08B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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