Verfahren zur Verbesserung der Fluor-Ausnutzung

EP1619269 Art A3 8. November 2006

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1619269
Aktenzeichen: EP05016010
Anmeldetag: 22. Juli 2005
Veröffentlichung: 8. November 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H01L21/3065C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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