Ozonnachbehandlung zur Entfernung von Kohlenstoff aus einem Fliessfähigen Oxidschicht

EP1623455 Art A1 8. Februar 2006

Anmelder: Micron Technology, Inc., MICRON TECHNOLOGY, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1623455
Aktenzeichen
EP04751417
Anmeldetag
6. Mai 2004
Veröffentlichung
8. Februar 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3105H01L21/312C23C16/40C23C16/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Micron Technology, Inc.
MICRON TECHNOLOGY, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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Kanzlei
Maguire Boss

Kanzlei in St Ives bei Cambridge mit langjähriger Erfahrung im britischen und europäischen IP-Recht, bewusst zweigeteilt in ein Patent- und Design- sowie ein Marken- und Urheberrechtsteam. Betreut Mandanten von Einzelerfindern bis zu multinationalen Konzernen mit etablierten IP-Portfolios.

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