Anisotropes Ätzverfahren zur Herstellung von Siliziummikrostrukturen

EP1626438 Art B1 20. März 2013

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1626438
Aktenzeichen: EP05107289
Anmeldetag: 8. August 2005
Veröffentlichung: 20. März 2013
Erteilung: 20. März 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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