Scharfeinstellung-Detektionsvorrichtung und ein Mikroskop mit einer solchen Vorrichtung

EP1628153 Art A3 23. Dezember 2009

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1628153
Aktenzeichen
EP05107628
Anmeldetag
19. August 2005
Veröffentlichung
23. Dezember 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G02B21/24G02B7/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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