Oberflächenbehandlungsverfahren mit Ionenstrahl und Oberflächenbehandlungseinrichtung

EP1628335 Art A1 22. Februar 2006

Anmelder: Kyoto University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1628335
Aktenzeichen
EP04745396
Anmeldetag
28. Mai 2004
Veröffentlichung
22. Februar 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/304H01L21/306B08B7/00C23F1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kyoto University
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kyoto University

Renommierte japanische Universität mit breiter Grundlagenforschung in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

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Kanzlei
Mitscherlich PartmbB München, Deutschland

Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.

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