Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabeschichtung von Werkstücken mit spektraler Auswertung der Prozessparameter

EP1630848 Art B1 29. Oktober 2008

Anmelder: Schott AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1630848
Aktenzeichen: EP05018452
Anmeldetag: 25. August 2005
Veröffentlichung: 29. Oktober 2008
Erteilung: 29. Oktober 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32C23C16/511C23C16/52C23C16/04C23C16/02C23C16/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Schott AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 SCHOTT

Deutsches Technologieunternehmen mit Sitz in Mainz, spezialisiert auf Spezialglas und Glaskeramik für Pharma-, Optik-, Elektronik- und Haushaltsanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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