Verfahren zur Herstellung einer Schicht aus Silicium Karbid auf einer Siliciumscheibe

EP1633911 Art B1 12. September 2007

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique, Centre National De La Recherche 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1633911
Aktenzeichen
EP04742653
Anmeldetag
5. Mai 2004
Veröffentlichung
12. September 2007
Erteilung
12. September 2007
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Centre National de la Recherche Scientifique
Centre National De La Recherche
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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