Optisches Bildgebungsinstrument

EP1637909 Art B1 30. April 2014

Anmelder: Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1637909
Aktenzeichen
EP05026108
Anmeldetag
3. Mai 2002
Veröffentlichung
30. April 2014
Erteilung
30. April 2014
Rechtsraum
EP
IPC
G03B27/32G02B13/22G02B3/06G02B7/02G02B3/00G02B5/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Dainippon Screen Mfg

Dainippon Screen Mfg war ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Halbleiter und Druckvorstufe, ein Vorläufer des heutigen SCREEN-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Nachrichten- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2014 ab.

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