Lithographischer Apparat und Verfahren zur Positionsmessung

EP1645910 Art B1 14. September 2016

Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1645910
Aktenzeichen
EP05077238
Anmeldetag
30. September 2005
Veröffentlichung
14. September 2016
Erteilung
14. September 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F9/00G01B9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands BV
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

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