Ladungsträgerstrahlgerät und Methode zur Messung von Musterdimensionen

EP1646067 Art B1 14. Dezember 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1646067
Aktenzeichen: EP05021657
Anmeldetag: 4. Oktober 2005
Veröffentlichung: 14. Dezember 2011
Erteilung: 14. Dezember 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28H01J37/244H01J37/22H01J37/21

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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