Ethylenoxid-Silan und Überbrückte Silan-Vorläufer zur Bildung von Filmen mit Niedrigem K

EP1649494 Art A2 26. April 2006

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1649494
Aktenzeichen: EP04778298
Anmeldetag: 1. Juli 2004
Veröffentlichung: 26. April 2006
Rechtsraum: EP
IPC: C07F7/18C07F7/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Organische Chemie

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