Projektionsobjektiv Bestehend aus einer Vielzahl von Gekrümmten Spiegeln und Linsen vor dem Vorletzten Spiegel
EP1654577
Art A1
10. Mai 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1654577
- Aktenzeichen
- EP04741072
- Anmeldetag
- 16. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 10. Mai 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B17/08G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schultz, Jörg Martin
Oberkochen, Deutschland
22
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte