Vakuumpumpsystem und Signalerzeugungsverfahren

EP1655494 Art B1 20. März 2019

Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1655494
Aktenzeichen
EP05022633
Anmeldetag
18. Oktober 2005
Veröffentlichung
20. März 2019
Erteilung
20. März 2019
Rechtsraum
EP
IPC
F04D27/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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