Halbleiterbauelement, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Gas für Plasma-Cvd

EP1655772 Art B1 28. September 2011

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Zeon Corporation, ZEON CORPORATION, OHMI, Tadahiro 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1655772
Aktenzeichen
EP04771570
Anmeldetag
12. August 2004
Veröffentlichung
28. September 2011
Erteilung
28. September 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/314
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOKYO ELECTRON LIMITED
Zeon Corporation
ZEON CORPORATION
OHMI, Tadahiro
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

2.552 Patente in unserer Datenbank

Kanzlei
Boehmert & Boehmert München, Deutschland

Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.

38.880
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