Entfernung einer Kante einer SOI-Transferhalbleiterscheibe

EP1662560 Art B1 5. Juni 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1662560
Aktenzeichen
EP05257236
Anmeldetag
24. November 2005
Veröffentlichung
5. Juni 2019
Erteilung
5. Juni 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/302H01L21/304H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
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