Verbindungen mit niedriger Dielektrizitätskonstante, Verfahren zu deren Herstellung und Verwendung desselben

EP1666632 Art B1 24. April 2013

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1666632
Aktenzeichen: EP05021056
Anmeldetag: 27. September 2005
Veröffentlichung: 24. April 2013
Erteilung: 24. April 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/30C23C16/56C03C3/04H01L21/312H01L21/316H01L21/3105H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von