Zusammensetzung für Resist und Strahlungsempfindliche Zusammensetzung

EP1666970 Art A1 7. Juni 2006

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1666970
Aktenzeichen: EP04772828
Anmeldetag: 30. August 2004
Veröffentlichung: 7. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039C07D309/12C07D311/82C07D311/96C07C43/23C07C69/96H01L21/027G03F7/004

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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