Apparat zur automatischen Korrektur eines Strahls geladener Teilchen

EP1670028 Art B1 8. Februar 2017

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1670028
Aktenzeichen
EP05257415
Anmeldetag
1. Dezember 2005
Veröffentlichung
8. Februar 2017
Erteilung
8. Februar 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/153H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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